从自来水到去离子水一般要经过几步处理：1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。2、然后高压通过反渗透膜。3、最后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。
相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
EDI系统取代传统离子混床装置成为纯水行业的新星。EDI系统不但弥补了传统工艺的缺陷简化工艺步骤，而且还提高生产效率；不论是从设备本身的性能，还是经济投资方面都比传统的去离子水设备更具优势。
